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一种蚀刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120563977.6
申请日：
2011-12-30
公开(公告)号：
CN202430289U
公开(公告)日：
2012-09-12
发明(设计)人：
欧阳建英
梁启光
申请人：
申请人地址：
523380 广东省东莞市茶山镇茶山工业园特新电路材料（东莞）有限公司
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-09-12 | 授权 | 授权 |
| 2015-02-25 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101599763971 IPC(主分类):C23F 1/08 专利号:ZL2011205639776 申请日:20111230 授权公告日:20120912 终止日期:20131230 |