一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711032893.8

申请日：

2017-10-27

公开(公告)号：

CN107740049B

公开(公告)日：

2018-02-27

发明(设计)人：

扈自清任星利王国庆康建东孙忠强赵镜张磊王斌李国强李晓龙王在成

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-27	公开	公开
2020-02-18	授权	授权
2018-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20171027

共 50 条

[1]

一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置 [P].

徐鹏 .

中国专利 :CN206692717U ,2017-12-01

[2]

真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN108642453A ,2018-10-12

[3]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 ;

袁广才 .

中国专利 :CN115216737B ,2024-03-26

[4]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李民国 ;

毕德锋 ;

罗书成 ;

李成胜 .

中国专利 :CN113388814A ,2021-09-14

[5]

防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备 [P].

付文悦 ;

陈立强 ;

王小虎 .

中国专利 :CN105970159A ,2016-09-28

[6]

一种蒸镀装置及蒸镀机 [P].

黄稳 ;

武启飞 ;

赵平 ;

赵鹏鹏 ;

胡淳 ;

廖良生 ;

冯敏强 .

中国专利 :CN214694343U ,2021-11-12

[7]

一种蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

苏志玮 ;

付潇 .

中国专利 :CN109023255A ,2018-12-18

[8]

一种蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

陈龙 ;

曾诚 ;

张伟 ;

杨一帆 .

中国专利 :CN109468596B ,2019-03-15

[9]

蒸镀源、蒸镀装置 [P].

谢虎 ;

付潇 ;

郭书鹏 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN109112488A ,2019-01-01

[10]

蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

曲燕 ;

康亮亮 ;

靳倩 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 .

中国专利 :CN117660888A ,2024-03-08

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