防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610561960.4
申请日
2016-07-15
公开(公告)号
CN105970159A
公开(公告)日
2016-09-28
发明(设计)人
付文悦 陈立强 王小虎
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
代理机构
北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138
代理人
滕一斌
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备 [P]. 
张永峰 .
中国专利 :CN108642453A ,2018-10-12
[2]
一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置 [P]. 
徐鹏 .
中国专利 :CN206692717U ,2017-12-01
[3]
蒸镀掩模固定装置 [P]. 
成谷元嗣 ;
武田笃 .
中国专利 :CN110249071A ,2019-09-17
[4]
蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法 [P]. 
李晓虎 ;
曲燕 ;
康亮亮 ;
靳倩 ;
王路 ;
王伟杰 ;
焦志强 .
中国专利 :CN117660888A ,2024-03-08
[5]
蒸镀腔体、蒸镀设备及蒸镀方法 [P]. 
魏锋 ;
李金川 ;
谭伟 .
中国专利 :CN107435136A ,2017-12-05
[6]
一种防着板及蒸镀设备 [P]. 
谢虎 ;
郭书鹏 ;
黄俊淞 .
中国专利 :CN109097739A ,2018-12-28
[7]
固定装置以及蒸镀装置 [P]. 
林俊宏 ;
王卫卫 .
中国专利 :CN106978585A ,2017-07-25
[8]
一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置 [P]. 
扈自清 ;
任星利 ;
王国庆 ;
康建东 ;
孙忠强 ;
赵镜 ;
张磊 ;
王斌 ;
李国强 ;
李晓龙 ;
王在成 .
中国专利 :CN107740049B ,2018-02-27
[9]
蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的对准方法及蒸镀掩膜固定装置 [P]. 
成谷元嗣 ;
武田笃 .
中国专利 :CN110291220A ,2019-09-27
[10]
蒸镀坩埚及蒸镀设备 [P]. 
牛玉山 ;
刘科雷 .
中国专利 :CN206015075U ,2017-03-15