蒸镀掩模固定装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780085738.4

申请日：

2017-12-14

公开(公告)号：

CN110249071A

公开(公告)日：

2019-09-17

发明(设计)人：

成谷元嗣武田笃

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

H01L5150 H05B3310

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;沈静

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/04 申请公布日:20190917
2019-09-17	公开	公开
2019-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20171214

共 50 条

[1]

固定装置以及蒸镀装置 [P].

林俊宏 ;

王卫卫 .

中国专利 :CN106978585A ,2017-07-25

[2]

防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备 [P].

付文悦 ;

陈立强 ;

王小虎 .

中国专利 :CN105970159A ,2016-09-28

[3]

掩模版固定装置 [P].

黎刚生 ;

齐芊枫 ;

范哲光 .

中国专利 :CN102200701A ,2011-09-28

[4]

蒸镀机用晶圆固定装置 [P].

李文涛 ;

王剑 ;

杨亮 ;

时文礼 .

中国专利 :CN105002472A ,2015-10-28

[5]

蒸镀机用晶圆固定装置 [P].

李文涛 ;

王剑 ;

杨亮 ;

时文礼 .

中国专利 :CN204918749U ,2015-12-30

[6]

蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的对准方法及蒸镀掩膜固定装置 [P].

成谷元嗣 ;

武田笃 .

中国专利 :CN110291220A ,2019-09-27

[7]

真空蒸镀机加磁基片固定装置 [P].

彭保进 ;

应朝福 ;

万旭 ;

叶晶 ;

刘蕴涛 .

中国专利 :CN201278028Y ,2009-07-22

[8]

盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置 [P].

曹乐 ;

张希山 ;

胡旭峰 .

中国专利 :CN212476867U ,2021-02-05

[9]

OLED蒸镀掩模板 [P].

叶子云 ;

卢泓 ;

徐亚晨 ;

张胜文 ;

谢发飞 ;

周希伟 ;

孙冬 .

中国专利 :CN110184565A ,2019-08-30

[10]

OLED蒸镀掩模板 [P].

叶子云 ;

卢泓 ;

徐亚晨 ;

张胜文 ;

谢发飞 ;

周希伟 ;

孙冬 .

中国专利 :CN210261956U ,2020-04-07

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