盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021139405.0

申请日：

2020-06-18

公开(公告)号：

CN212476867U

公开(公告)日：

2021-02-05

发明(设计)人：

曹乐张希山胡旭峰

申请人：

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-05	授权	授权
2021-08-24	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/30 变更事项:专利权人变更前:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司变更后:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司变更事项:地址变更前:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号变更后:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
2022-01-21	专利权的主动放弃	专利权的主动放弃 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20200618 授权公告日:20210205 放弃生效日:20220110

共 50 条

[1]

电子束蒸镀装置 [P].

清水祐辅 ;

山成淳一 .

中国专利 :CN203999792U ,2014-12-10

[2]

一种电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置 [P].

何秉轩 .

中国专利 :CN217536135U ,2022-10-04

[3]

一种电子束蒸镀装置 [P].

姚林松 ;

彭鹏 ;

陈丽祥 .

中国专利 :CN215517609U ,2022-01-14

[4]

固定装置以及蒸镀装置 [P].

林俊宏 ;

王卫卫 .

中国专利 :CN106978585A ,2017-07-25

[5]

一种电子束焊接固定装置 [P].

胡伟 ;

曾浩 ;

庞欣 ;

贺昕 ;

陈畅 ;

丁照崇 ;

罗俊锋 ;

冯昭伟 ;

李勇军 ;

万小勇 ;

陈淼琴 .

中国专利 :CN207479835U ,2018-06-12

[6]

一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置 [P].

范宾 ;

李胜涛 ;

黄志飞 ;

郑宇才 ;

沈晓磊 .

中国专利 :CN203530419U ,2014-04-09

[7]

硅圆基片电子束蒸镀辅助装置 [P].

梁晋学 .

中国专利 :CN221192294U ,2024-06-21

[8]

一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN209128527U ,2019-07-19

[9]

坩埚组件及电子束蒸镀装置 [P].

李晗光 ;

杨宏林 .

中国专利 :CN220685230U ,2024-03-29

[10]

电子束蒸镀装置及镀膜系统 [P].

李建辉 ;

王超 ;

汪振南 ;

侯建洋 ;

康远浩 ;

孙欣森 .

中国专利 :CN220827448U ,2024-04-23

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