一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320665684.8

申请日：

2013-10-28

公开(公告)号：

CN203530419U

公开(公告)日：

2014-04-09

发明(设计)人：

范宾李胜涛黄志飞郑宇才沈晓磊

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

上海申蒙商标专利代理有限公司 31214

代理人：

徐小蓉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-09	授权	授权
2019-07-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/30 登记生效日:20190621 变更事项:专利权人变更前权利人:光驰科技（上海）有限公司变更后权利人:东莞汇驰真空制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号变更后权利人:523838 广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号1栋101室

共 50 条

[1]

一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN209128527U ,2019-07-19

[2]

电子束蒸镀装置 [P].

清水祐辅 ;

山成淳一 .

中国专利 :CN203999792U ,2014-12-10

[3]

一种电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置 [P].

何秉轩 .

中国专利 :CN217536135U ,2022-10-04

[4]

一种电子束蒸镀装置 [P].

姚林松 ;

彭鹏 ;

陈丽祥 .

中国专利 :CN215517609U ,2022-01-14

[5]

一种用于电子束蒸镀的镀锅 [P].

贾晓霞 ;

李军 ;

段国杰 ;

孙继文 ;

郝杨杨 .

中国专利 :CN220468114U ,2024-02-09

[6]

电子束蒸镀器和用于借助电子束对蒸镀物进行蒸镀的方法 [P].

卡斯滕·迪乌斯 .

中国专利 :CN110373635B ,2019-10-25

[7]

一种磁控溅射真空电子束蒸镀装置 [P].

田守文 .

中国专利 :CN206635405U ,2017-11-14

[8]

电子束式蒸镀单元 [P].

矶野坚一 ;

后田以诚 ;

西新贵人 ;

大桥童吾 ;

矢岛太郎 .

日本专利 :CN119265521B ,2025-11-21

[9]

电子束式蒸镀单元 [P].

矶野坚一 ;

后田以诚 ;

西新贵人 ;

大桥童吾 ;

矢岛太郎 .

日本专利 :CN119265521A ,2025-01-07

[10]

用于电子束蒸镀的锅盘 [P].

叶小兵 ;

孔德兴 .

中国专利 :CN210765485U ,2020-06-16

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