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电子束蒸镀器和用于借助电子束对蒸镀物进行蒸镀的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910283961.0
申请日：
2019-04-10
公开(公告)号：
CN110373635B
公开(公告)日：
2019-10-25
发明(设计)人：
卡斯滕·迪乌斯
申请人：
申请人地址：
德国德累斯顿
IPC主分类号：
C23C1430
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
王小衡;王朝辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-25 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20190410 |
| 2022-03-22 | 授权 | 授权 |