电子束蒸镀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420405903.3

申请日：

2014-07-22

公开(公告)号：

CN203999792U

公开(公告)日：

2014-12-10

发明(设计)人：

清水祐辅山成淳一

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

周善来;李雪春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置 [P].

何秉轩 .

中国专利 :CN217536135U ,2022-10-04

[2]

电子束蒸镀装置及镀膜系统 [P].

李建辉 ;

王超 ;

汪振南 ;

侯建洋 ;

康远浩 ;

孙欣森 .

中国专利 :CN220827448U ,2024-04-23

[3]

电子束式蒸镀单元 [P].

矶野坚一 ;

后田以诚 ;

西新贵人 ;

大桥童吾 ;

矢岛太郎 .

日本专利 :CN119265521B ,2025-11-21

[4]

电子束式蒸镀单元 [P].

矶野坚一 ;

后田以诚 ;

西新贵人 ;

大桥童吾 ;

矢岛太郎 .

日本专利 :CN119265521A ,2025-01-07

[5]

一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置 [P].

范宾 ;

李胜涛 ;

黄志飞 ;

郑宇才 ;

沈晓磊 .

中国专利 :CN203530419U ,2014-04-09

[6]

一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN209128527U ,2019-07-19

[7]

电子束蒸镀器和用于借助电子束对蒸镀物进行蒸镀的方法 [P].

卡斯滕·迪乌斯 .

中国专利 :CN110373635B ,2019-10-25

[8]

一种电子束蒸镀装置 [P].

姚林松 ;

彭鹏 ;

陈丽祥 .

中国专利 :CN215517609U ,2022-01-14

[9]

坩埚组件及电子束蒸镀装置 [P].

李晗光 ;

杨宏林 .

中国专利 :CN220685230U ,2024-03-29

[10]

硅圆基片电子束蒸镀辅助装置 [P].

梁晋学 .

中国专利 :CN221192294U ,2024-06-21

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