电子束式蒸镀单元

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410391849.X

申请日：

2024-04-02

公开(公告)号：

CN119265521B

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

矶野坚一后田以诚西新贵人大桥童吾矢岛太郎

申请人：

株式会社爱发科

申请人地址：

日本神奈川县茅崎市荻园2500

IPC主分类号：

C23C14/30

IPC分类号：

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015

代理人：

齐永红;秦岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/30申请日:20240402
2025-11-21	授权	授权
2025-01-07	公开	公开

共 50 条

[1]

电子束式蒸镀单元 [P].

矶野坚一 ;

后田以诚 ;

西新贵人 ;

大桥童吾 ;

矢岛太郎 .

日本专利 :CN119265521A ,2025-01-07

[2]

电子束蒸镀装置 [P].

清水祐辅 ;

山成淳一 .

中国专利 :CN203999792U ,2014-12-10

[3]

一种电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置 [P].

何秉轩 .

中国专利 :CN217536135U ,2022-10-04

[4]

电子束蒸镀器和用于借助电子束对蒸镀物进行蒸镀的方法 [P].

卡斯滕·迪乌斯 .

中国专利 :CN110373635B ,2019-10-25

[5]

一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置 [P].

范宾 ;

李胜涛 ;

黄志飞 ;

郑宇才 ;

沈晓磊 .

中国专利 :CN203530419U ,2014-04-09

[6]

一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN209128527U ,2019-07-19

[7]

一种电子束蒸镀装置 [P].

姚林松 ;

彭鹏 ;

陈丽祥 .

中国专利 :CN215517609U ,2022-01-14

[8]

坩埚组件及电子束蒸镀装置 [P].

李晗光 ;

杨宏林 .

中国专利 :CN220685230U ,2024-03-29

[9]

电子束蒸镀装置及镀膜系统 [P].

李建辉 ;

王超 ;

汪振南 ;

侯建洋 ;

康远浩 ;

孙欣森 .

中国专利 :CN220827448U ,2024-04-23

[10]

一种电子束蒸镀设备 [P].

侯建洋 ;

李建辉 ;

张天雷 ;

孙欣森 .

中国专利 :CN222139243U ,2024-12-10

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