固定装置以及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710279006.0

申请日：

2017-04-25

公开(公告)号：

CN106978585A

公开(公告)日：

2017-07-25

发明(设计)人：

林俊宏王卫卫

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 C23C1454

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-25	公开	公开
2021-01-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/04 申请公布日:20170725
2017-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101742564718 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2017102790060 申请日:20170425

共 50 条

[1]

蒸镀掩模固定装置 [P].

成谷元嗣 ;

武田笃 .

中国专利 :CN110249071A ,2019-09-17

[2]

盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置 [P].

曹乐 ;

张希山 ;

胡旭峰 .

中国专利 :CN212476867U ,2021-02-05

[3]

防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备 [P].

付文悦 ;

陈立强 ;

王小虎 .

中国专利 :CN105970159A ,2016-09-28

[4]

蒸镀机用晶圆固定装置 [P].

李文涛 ;

王剑 ;

杨亮 ;

时文礼 .

中国专利 :CN105002472A ,2015-10-28

[5]

蒸镀机用晶圆固定装置 [P].

李文涛 ;

王剑 ;

杨亮 ;

时文礼 .

中国专利 :CN204918749U ,2015-12-30

[6]

真空蒸镀机加磁基片固定装置 [P].

彭保进 ;

应朝福 ;

万旭 ;

叶晶 ;

刘蕴涛 .

中国专利 :CN201278028Y ,2009-07-22

[7]

蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的对准方法及蒸镀掩膜固定装置 [P].

成谷元嗣 ;

武田笃 .

中国专利 :CN110291220A ,2019-09-27

[8]

蒸镀装置、蒸镀方法以及显示装置 [P].

杜骁 ;

孔香植 ;

李们在 ;

金武谦 ;

李先杰 ;

杨林 .

中国专利 :CN111020489A ,2020-04-17

[9]

掩膜板固定装置、掩膜板组件和蒸镀设备 [P].

李娟 ;

王魁 ;

邢继权 .

中国专利 :CN120844010A ,2025-10-28

[10]

固定装置以及横梁 [P].

刘鑫怡 ;

易敏 ;

易维 ;

刘凯 .

中国专利 :CN111042347A ,2020-04-21

← 1 2 3 4 5 →