蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的对准方法及蒸镀掩膜固定装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880011467.2

申请日：

2018-02-07

公开(公告)号：

CN110291220A

公开(公告)日：

2019-09-27

发明(设计)人：

成谷元嗣武田笃

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

H01L5150 H05B3310

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;闫剑平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	公开	公开
2019-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20180207

共 50 条

[1]

掩膜板固定装置、掩膜板组件和蒸镀设备 [P].

李娟 ;

王魁 ;

邢继权 .

中国专利 :CN120844010A ,2025-10-28

[2]

蒸镀腔体、蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

魏锋 ;

李金川 ;

谭伟 .

中国专利 :CN107435136A ,2017-12-05

[3]

防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备 [P].

付文悦 ;

陈立强 ;

王小虎 .

中国专利 :CN105970159A ,2016-09-28

[4]

蒸镀掩模固定装置 [P].

成谷元嗣 ;

武田笃 .

中国专利 :CN110249071A ,2019-09-17

[5]

掩膜版的固定装置及掩膜版的加工设备 [P].

高搏 ;

程彦江 ;

张涛 ;

蔡永安 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN221940594U ,2024-11-01

[6]

固定装置以及蒸镀装置 [P].

林俊宏 ;

王卫卫 .

中国专利 :CN106978585A ,2017-07-25

[7]

一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法 [P].

王亚玲 ;

宋平 ;

刘亚伟 ;

肖志慧 ;

单为健 ;

杨志业 .

中国专利 :CN110359011A ,2019-10-22

[8]

蒸镀机用晶圆固定装置 [P].

李文涛 ;

王剑 ;

杨亮 ;

时文礼 .

中国专利 :CN105002472A ,2015-10-28

[9]

蒸镀机用晶圆固定装置 [P].

李文涛 ;

王剑 ;

杨亮 ;

时文礼 .

中国专利 :CN204918749U ,2015-12-30

[10]

一种掩膜板固定装置 [P].

马得贵 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

苏君海 ;

黄亚清 ;

李建华 .

中国专利 :CN204509446U ,2015-07-29

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