掩膜板固定装置、掩膜板组件和蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510906000.6

申请日：

2025-07-01

公开(公告)号：

CN120844010A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

李娟王魁邢继权

申请人：

京东方科技集团股份有限公司成都京东方光电科技有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24 H10K71/16

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

张鹏

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/04申请日:20250701

共 50 条

[1]

掩膜板、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

刘丽国 ;

尹志 .

中国专利 :CN207775333U ,2018-08-28

[2]

掩膜板框架及蒸镀掩膜板组件 [P].

李伟丽 ;

邱岳 .

中国专利 :CN112226731A ,2021-01-15

[3]

蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的对准方法及蒸镀掩膜固定装置 [P].

成谷元嗣 ;

武田笃 .

中国专利 :CN110291220A ,2019-09-27

[4]

掩膜板、套装掩膜板和蒸镀系统 [P].

丁渭渭 ;

吴建鹏 .

中国专利 :CN108977762B ,2018-12-11

[5]

掩膜板框架、掩膜板及蒸镀设备 [P].

吕守华 ;

黄俊杰 ;

李宝军 .

中国专利 :CN207828397U ,2018-09-07

[6]

蒸镀掩膜板 [P].

李锦雄 ;

朱永安 ;

周应平 ;

庞明 .

中国专利 :CN222349096U ,2025-01-14

[7]

蒸镀掩膜板 [P].

张健 .

中国专利 :CN104762590A ,2015-07-08

[8]

蒸镀掩膜板 [P].

侯炜轩 ;

李伟丽 .

中国专利 :CN206768207U ,2017-12-19

[9]

蒸镀掩膜板 [P].

魏志凌 ;

高小平 .

中国专利 :CN202534700U ,2012-11-14

[10]

蒸镀掩膜板 [P].

魏志凌 ;

高小平 .

中国专利 :CN103205696A ,2013-07-17

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