选择性蚀刻材料的改进

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980045475.3

申请日：

2019-06-14

公开(公告)号：

CN112384597A

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

王界入吴幸臻许家荣

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C09K1308

IPC分类号：

C09K1306

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

李婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/08 申请日:20190614
2021-02-19	公开	公开

共 50 条

[1]

选择性蚀刻方法 [P].

G·瓦格纳 .

中国专利 :CN101015043A ,2007-08-08

[2]

一种选择性蚀刻液 [P].

叶瑞 ;

贺兆波 ;

冯凯 ;

崔会东 ;

王书萍 ;

班昌胜 ;

张庭 ;

严凡 ;

樊澌 .

中国专利 :CN117384642A ,2024-01-12

[3]

在选择性蚀刻工艺中提高选择性的方法 [P].

张闻宇 ;

杨逸雄 ;

马里奥·D·桑切斯 ;

蹇国强 ;

唐薇 ;

伯·F·马 .

中国专利 :CN112385018A ,2021-02-19

[4]

在选择性蚀刻工艺中提高选择性的方法 [P].

张闻宇 ;

杨逸雄 ;

马里奥·D·桑切斯 ;

蹇国强 ;

唐薇 ;

伯·F·马 .

美国专利 :CN112385018B ,2025-02-25

[5]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

宋凌雁 .

中国专利 :CN111394100A ,2020-07-10

[6]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

斯蒂芬·里皮 ;

宋凌雁 ;

许家荣 ;

涂胜宏 ;

王界入 .

中国专利 :CN105102584B ,2015-11-25

[7]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

宋凌雁 .

中国专利 :CN105683336A ,2016-06-15

[8]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

杰弗里·A·巴尼斯 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

里卡·拉贾拉姆 ;

涂胜宏 .

中国专利 :CN104145324A ,2014-11-12

[9]

选择性沉积 [P].

K·K·卡谢尔 .

:CN119736603A ,2025-04-01

[10]

选择性蚀刻方法及装置 [P].

刘苏涛 ;

苏财宝 ;

林士闵 ;

渠兴宇 .

中国专利 :CN115376915A ,2022-11-22

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