掺杂氮的碳硬模膜

被引：0

申请号：

CN202180030852.3

申请日：

2021-02-11

公开(公告)号：

CN115461839A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

闵笑全许璐 P·K·库尔施拉希萨 K·D·李

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21308 C23C1626 C23C1650

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

侯颖媖;张鑫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[1]

氮掺杂的非晶碳硬掩模 [P].

S·F·郑 ;

J·扬岑 ;

D·帕德希 ;

金秉宪 .

中国专利 :CN102971837A ,2013-03-13

[2]

一种氮掺杂碳材料的制备方法 [P].

张立娟 ;

郝祉棋 ;

耿艳敏 ;

谢钢 ;

杨奇 ;

陈三平 ;

惠俊峰 ;

步怀天 ;

王尧宇 .

中国专利 :CN104743540A ,2015-07-01

[3]

氮掺杂有序介孔碳材料的制备方法 [P].

张德懿 ;

马颖 ;

郝远 ;

郑力文 ;

冯辉霞 .

中国专利 :CN103072973B ,2013-05-01

[4]

一种氮掺杂碳材料的制备方法 [P].

于萌 ;

任子君 ;

谢钢 .

中国专利 :CN104891473B ,2015-09-09

[5]

一种掺杂氮的荧光碳点制备方法 [P].

沈洁 ;

商少明 ;

陈秀英 ;

高海燕 ;

顾丹 ;

许虎君 ;

曾庆韬 .

中国专利 :CN105542762A ,2016-05-04

[6]

一种氮掺杂介孔碳的制备方法 [P].

陈伟 ;

鲁少杰 ;

唐文静 ;

陈艳 ;

贺彩虹 ;

钱佳静 ;

黄少铭 .

中国专利 :CN109354006A ,2019-02-19

[7]

一种氮硫共掺杂碳材料的制备方法 [P].

田植群 ;

张潇然 ;

沈培康 ;

朱利安 ;

刘宗 ;

吕丹丹 .

中国专利 :CN106960729A ,2017-07-18

[8]

氮锰共掺杂多级孔碳材料的制备方法 [P].

刘玉荣 ;

胡荣 .

中国专利 :CN106430146A ,2017-02-22

[9]

一种氮掺杂多孔碳材料的制备方法 [P].

卢颖莉 ;

荆葛 ;

王恒 ;

冯冬梅 ;

乔志军 ;

刘丛刚 .

中国专利 :CN114516635A ,2022-05-20

[10]

用于制造含碳保护膜的方法 [P].

永田德久 .

中国专利 :CN105229739B ,2016-01-06

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