氮掺杂的非晶碳硬掩模

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180016212.3

申请日：

2011-02-22

公开(公告)号：

CN102971837A

公开(公告)日：

2013-03-13

发明(设计)人：

S·F·郑 J·扬岑 D·帕德希金秉宪

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21312

IPC分类号：

H01L2131

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

胡林岭

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-13	公开	公开
2013-04-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101433999189 IPC(主分类):H01L 21/312 专利申请号:2011800162123 申请日:20110222
2016-07-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735696206 IPC(主分类):H01L 21/312 专利申请号:2011800162123 申请公布日:20130313

共 50 条

[1]

超高选择性的掺杂非晶碳可剥除硬掩模的开发与集成 [P].

M·J·西蒙斯 ;

S·拉蒂 ;

K·D·李 ;

D·帕德希 ;

金秉宪 ;

C·陈 .

中国专利 :CN103210480A ,2013-07-17

[2]

直接在非晶硅硬掩模上的构图 [P].

E.A.德席尔瓦 ;

A.阿塞奥德拉佩纳 ;

N.费力克斯 .

中国专利 :CN111316398A ,2020-06-19

[3]

掺杂氮的碳硬模膜 [P].

闵笑全 ;

许璐 ;

P·K·库尔施拉希萨 ;

K·D·李 .

中国专利 :CN115461839A ,2022-12-09

[4]

氮掺杂中空非晶碳壳材料、制备方法及应用 [P].

王烨 ;

王兵艳 ;

许婷婷 ;

孔德志 ;

李新建 .

中国专利 :CN113381015B ,2021-09-10

[5]

用于图案化应用的碳硬掩模及相关的方法 [P].

E·文卡塔苏布磊曼聂 ;

杨扬 ;

P·曼纳 ;

K·拉马斯瓦米 ;

T·越泽 ;

A·B·玛里克 .

美国专利 :CN111954921B ,2024-05-31

[6]

用于图案化应用的碳硬掩模及相关的方法 [P].

E·文卡塔苏布磊曼聂 ;

杨扬 ;

P·曼纳 ;

K·拉马斯瓦米 ;

T·越泽 ;

A·B·玛里克 .

中国专利 :CN111954921A ,2020-11-17

[7]

非晶碳-非晶硒复印感光体(复印鼓) [P].

王若宝 ;

何大韧 .

中国专利 :CN1005655B ,1988-01-13

[8]

高温沉积非晶碳层的方法 [P].

马丁·杰西蒙斯 ;

尤加南德·N·萨利帕里 ;

光得·道格拉斯·李 ;

博·恒·金 ;

维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 ;

温蒂·H·叶 ;

约瑟芬·汝－伟·张刘 ;

埃米尔·阿拉－巴亚提 ;

德里克·R·维迪 ;

伊沙姆·迈'萨德 .

中国专利 :CN101407909A ,2009-04-15

[9]

氮掺杂硬碳材料的制备方法及其产品和应用 [P].

李长明 ;

江娅莉 ;

陈杰 .

中国专利 :CN113644269B ,2021-11-12

[10]

一种氮掺杂的硬碳材料及其制备方法和应用 [P].

纪效波 ;

蔡鹏 ;

邹国强 ;

侯红帅 ;

邹康宇 ;

肖诩桓 .

中国专利 :CN113493195A ,2021-10-12

← 1 2 3 4 5 →