Al-基合金溅射靶及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910132939.2

申请日：

2009-03-31

公开(公告)号：

CN101691657B

公开(公告)日：

2010-04-07

发明(设计)人：

高木胜寿岩崎祐纪得平雅也后藤裕史三木绫奥野博行越智元隆岸智弥

申请人：

申请人地址：

日本国兵库县

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1414 C22C2100 C22C2112 C22C102 C22F104 C22F1057

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

李贵亮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101002138382 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2009101329392 申请日:20090331
2010-04-07	公开	公开
2012-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

Al-基合金溅射靶及其制备方法 [P].

高木胜寿 ;

得平雅也 ;

钉宫敏洋 ;

米田阳一郎 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN101220458B ,2008-07-16

[2]

Al基合金溅射靶及其制造方法 [P].

松本克史 ;

高木胜寿 ;

武富雄一 ;

中井淳一 ;

莳野秀忠 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN103154308B ,2013-06-12

[3]

Al-Ni-La-Cu系Al-基合金溅射靶及其制造方法 [P].

高木胜寿 ;

岩崎祐纪 ;

得平雅也 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN101691656A ,2010-04-07

[4]

Al基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 ;

小林宣裕 ;

奥野博行 ;

钉宫敏洋 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN102041479B ,2011-05-04

[5]

Al-Ni-La体系Al-基合金溅射靶及其制备方法 [P].

得平雅也 ;

高木胜寿 ;

钉宫敏洋 ;

米田阳一郎 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN100575542C ,2008-05-28

[6]

Al基合金溅射靶 [P].

岩崎祐纪 ;

松本克史 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102770576A ,2012-11-07

[7]

Al基合金溅射靶 [P].

高木敏晃 ;

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102102183B ,2011-06-22

[8]

Al基合金溅射靶 [P].

大元诚一郎 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN102477539A ,2012-05-30

[9]

Al基合金溅射靶及Cu基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

中井淳一 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN103348036A ,2013-10-09

[10]

Al-Ni-La-Si体系Al-基合金溅射靶及其制备方法 [P].

高木胜寿 ;

岩崎祐纪 ;

得平雅也 ;

南部旭 ;

越智元隆 ;

后藤裕史 ;

川上信之 .

中国专利 :CN101353779B ,2009-01-28

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