Al基合金溅射靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110178712.9

申请日：

2011-06-29

公开(公告)号：

CN102477539A

公开(公告)日：

2012-05-30

发明(设计)人：

大元诚一郎高木敏晃

申请人：

申请人地址：

日本国兵库县

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C2100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

翟赟琪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101294514417 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2011101787129 申请日:20110629
2014-08-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101703518487 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2011101787129 申请公布日:20120530
2012-05-30	公开	公开

共 50 条

[1]

Al基合金溅射靶 [P].

岩崎祐纪 ;

松本克史 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102770576A ,2012-11-07

[2]

Al基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 ;

小林宣裕 ;

奥野博行 ;

钉宫敏洋 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN102041479B ,2011-05-04

[3]

Al基合金溅射靶 [P].

高木敏晃 ;

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102102183B ,2011-06-22

[4]

Al基合金溅射靶及Cu基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

中井淳一 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN103348036A ,2013-10-09

[5]

Al基合金溅射靶及其制造方法 [P].

松本克史 ;

高木胜寿 ;

武富雄一 ;

中井淳一 ;

莳野秀忠 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN103154308B ,2013-06-12

[6]

AI基合金溅射靶 [P].

高木敏晃 ;

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102051504A ,2011-05-11

[7]

铜基合金溅射靶 [P].

池田真 .

中国专利 :CN106103792A ,2016-11-09

[8]

Al-基合金溅射靶及其制备方法 [P].

高木胜寿 ;

得平雅也 ;

钉宫敏洋 ;

米田阳一郎 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN101220458B ,2008-07-16

[9]

Al-基合金溅射靶及其制造方法 [P].

高木胜寿 ;

岩崎祐纪 ;

得平雅也 ;

后藤裕史 ;

三木绫 ;

奥野博行 ;

越智元隆 ;

岸智弥 .

中国专利 :CN101691657B ,2010-04-07

[10]

Ag－基合金溅射靶 [P].

田内裕基 ;

松崎均 ;

大川直树 .

中国专利 :CN101376963A ,2009-03-04

← 1 2 3 4 5 →