AI基合金溅射靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010529527.5

申请日：

2010-10-28

公开(公告)号：

CN102051504A

公开(公告)日：

2011-05-11

发明(设计)人：

高木敏晃松本克史岩崎祐纪莳野秀忠

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

C22C2102

IPC分类号：

C22C2100 C23C1434

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

李贵亮

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712190450 IPC(主分类):C22C 21/02 专利申请号:2010105295275 申请公布日:20110511
2011-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081908551 IPC(主分类):C22C 21/02 专利申请号:2010105295275 申请日:20101028
2011-05-11	公开	公开

共 50 条

[1]

Al基合金溅射靶及Cu基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

中井淳一 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN103348036A ,2013-10-09

[2]

Al基合金溅射靶 [P].

岩崎祐纪 ;

松本克史 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102770576A ,2012-11-07

[3]

Al基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 ;

小林宣裕 ;

奥野博行 ;

钉宫敏洋 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN102041479B ,2011-05-04

[4]

Al基合金溅射靶 [P].

高木敏晃 ;

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102102183B ,2011-06-22

[5]

Al基合金溅射靶 [P].

大元诚一郎 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN102477539A ,2012-05-30

[6]

Ag－基合金溅射靶 [P].

田内裕基 ;

松崎均 ;

大川直树 .

中国专利 :CN101376963A ,2009-03-04

[7]

Al基合金溅射靶及其制造方法 [P].

松本克史 ;

高木胜寿 ;

武富雄一 ;

中井淳一 ;

莳野秀忠 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN103154308B ,2013-06-12

[8]

铜基合金溅射靶 [P].

池田真 .

中国专利 :CN106103792A ,2016-11-09

[9]

AI－Ni－稀土类元素合金溅射靶 [P].

钉宫敏洋 ;

高木胜寿 ;

松崎均 ;

喜多下幸太郎 ;

米田阳一郎 .

中国专利 :CN1821437A ,2006-08-23

[10]

Ag基合金溅射靶及其制造方法 [P].

高木胜寿 ;

森元荣一 ;

松崎均 ;

田内裕基 .

中国专利 :CN101376962B ,2009-03-04

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