铜基合金溅射靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580002257.3

申请日：

2015-09-11

公开(公告)号：

CN106103792A

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

池田真

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1418 C22C902 C22C901

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

刘凤岭;陈建全

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20161109
2016-11-09	公开	公开
2017-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705570333 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2015800022573 申请日:20150911

共 50 条

[1]

Al基合金溅射靶 [P].

大元诚一郎 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN102477539A ,2012-05-30

[2]

Al基合金溅射靶及Cu基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

中井淳一 ;

高木敏晃 .

中国专利 :CN103348036A ,2013-10-09

[3]

Al基合金溅射靶 [P].

岩崎祐纪 ;

松本克史 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102770576A ,2012-11-07

[4]

Al基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 ;

小林宣裕 ;

奥野博行 ;

钉宫敏洋 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN102041479B ,2011-05-04

[5]

Al基合金溅射靶 [P].

高木敏晃 ;

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102102183B ,2011-06-22

[6]

AI基合金溅射靶 [P].

高木敏晃 ;

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

莳野秀忠 .

中国专利 :CN102051504A ,2011-05-11

[7]

Ag－基合金溅射靶 [P].

田内裕基 ;

松崎均 ;

大川直树 .

中国专利 :CN101376963A ,2009-03-04

[8]

溅射靶用镍基镍铜铬锰系电阻合金 [P].

党绪邦 ;

陈溪有 ;

傅子文 ;

张伯超 .

中国专利 :CN1103434A ,1995-06-07

[9]

高纯度铜铬合金溅射靶 [P].

大月富男 ;

福岛笃志 .

中国专利 :CN104066869A ,2014-09-24

[10]

高纯度铜锰合金溅射靶 [P].

长田健一 ;

大月富男 ;

冈部岳夫 ;

牧野修仁 ;

福岛笃志 .

中国专利 :CN104066868B ,2014-09-24

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