半导体制程夹具处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320466476.5

申请日：

2013-08-01

公开(公告)号：

CN203367255U

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

刘文隆

申请人：

申请人地址：

中国台湾高雄市楠梓区大学南路891号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司 11228

代理人：

朱振德

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-25	授权	授权
2022-07-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20130801 授权公告日:20131225 终止日期:20210801

共 50 条

[1]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[2]

半导体制程设备 [P].

张佑语 ;

黄俊尧 .

中国专利 :CN208938918U ,2019-06-04

[3]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[4]

半导体制程系统 [P].

张志逢 ;

陈伟仁 ;

李俊億 ;

林展永 .

中国专利 :CN212322971U ,2021-01-08

[5]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131B ,2024-11-12

[6]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131A ,2024-09-06

[7]

半导体制程 [P].

王文杰 ;

陈逸男 ;

刘献文 .

中国专利 :CN102810505A ,2012-12-05

[8]

半导体制程 [P].

李秋德 .

中国专利 :CN101667540A ,2010-03-10

[9]

半导体制程 [P].

苏煜中 ;

罗冠昕 ;

郑雅如 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN110824845A ,2020-02-21

[10]

半导体制程及设备 [P].

林俊安 .

中国专利 :CN118645439A ,2024-09-13

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