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半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411081781.1
申请日：
2024-08-08
公开(公告)号：
CN118610131B
公开(公告)日：
2024-11-12
发明(设计)人：
尚思飞
申请人：
武汉新芯集成电路股份有限公司
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G01C9/02
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
宋艳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-06 | 公开 | 公开 |
| 2024-09-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240808 |
| 2024-11-12 | 授权 | 授权 |