一种掩膜版

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910237538.7

申请日：

2019-03-27

公开(公告)号：

CN109913805A

公开(公告)日：

2019-06-21

发明(设计)人：

张峰杰王伟杰朱海彬

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1412 C23C1424 H01L5156

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-26	授权	授权
2019-06-21	公开	公开
2019-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20190327

共 50 条

[1]

一种掩膜版及掩膜版组件 [P].

吴建 ;

杨柯 ;

钱超 .

中国专利 :CN115261785B ,2024-04-19

[2]

一种掩膜版 [P].

王凤姣 ;

徐华伟 ;

龚月良 ;

闫西安 ;

张志锴 ;

叶大成 .

中国专利 :CN121109946A ,2025-12-12

[3]

一种掩膜版 [P].

吴焰 ;

王凤姣 ;

王志欣 ;

夏孝定 ;

黄婷 .

中国专利 :CN121109945A ,2025-12-12

[4]

孙琳 ;

李露露 ;

王恩霞 ;

李世泰 ;

李慧 .

中国专利 :CN112575288A ,2021-03-30

[5]

翟明 ;

王莉莉 ;

刘超 ;

韩仕伟 ;

冯莎 ;

王静 ;

贾明明 .

中国专利 :CN216585167U ,2022-05-24

[6]

掩膜版的制备方法及掩膜版 [P].

吕磊 ;

隋运武 ;

任清江 ;

林昌廷 ;

汤颖颖 .

中国专利 :CN119491186A ,2025-02-21

[7]

一种掩膜版涂胶装置 [P].

李弋舟 ;

陈军 ;

郑小迎 .

中国专利 :CN118558550A ,2024-08-30

[8]

掩膜版、显示面板及掩膜版的制备方法 [P].

崔雪 ;

周丽芳 .

中国专利 :CN117265474B ,2025-12-19

[9]

一种掩膜版及其制备方法 [P].

于鹏程 ;

邱岳 ;

李文星 ;

张群 .

中国专利 :CN115261783B ,2024-09-27

[10]

一种金属掩膜版及其制造方法 [P].

张健 ;

黄俊杰 ;

林治明 ;

李冬伟 ;

王琦 .

中国专利 :CN108149192B ,2018-06-12

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