掩膜版

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011380899.6

申请日：

2020-11-30

公开(公告)号：

CN112575288A

公开(公告)日：

2021-03-30

发明(设计)人：

孙琳李露露王恩霞李世泰李慧

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区魏武路与新蚌埠路交口西南角

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

范坤坤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20201130
2021-03-30	公开	公开

共 50 条

[1]

翟明 ;

王莉莉 ;

刘超 ;

韩仕伟 ;

冯莎 ;

王静 ;

贾明明 .

中国专利 :CN216585167U ,2022-05-24

[2]

黄世雄 ;

文小雪 ;

谢涛峰 ;

黄倍慈 .

中国专利 :CN113481468A ,2021-10-08

[3]

掩膜版清洗机构及掩膜版清洗设备 [P].

韦寅帆 ;

郝力强 ;

王勇波 ;

吴磊 ;

孙鹏举 .

中国专利 :CN115382834A ,2022-11-25

[4]

掩膜版、显示面板及掩膜版的制备方法 [P].

崔雪 ;

周丽芳 .

中国专利 :CN117265474B ,2025-12-19

[5]

EUV光刻掩膜版 [P].

王光荣 ;

李建新 ;

巫奉伦 ;

夏忠平 .

中国专利 :CN216434662U ,2022-05-03

[6]

掩膜版清洗设备 [P].

范陆 .

中国专利 :CN221493436U ,2024-08-09

[7]

一种掩膜版 [P].

王凤姣 ;

徐华伟 ;

龚月良 ;

闫西安 ;

张志锴 ;

叶大成 .

中国专利 :CN121109946A ,2025-12-12

[8]

掩膜版修复方法 [P].

秦学飞 ;

田明静 .

中国专利 :CN120103667A ,2025-06-06

[9]

一种掩膜版 [P].

吴焰 ;

王凤姣 ;

王志欣 ;

夏孝定 ;

黄婷 .

中国专利 :CN121109945A ,2025-12-12

[10]

一种掩膜版 [P].

张峰杰 ;

王伟杰 ;

朱海彬 .

中国专利 :CN109913805A ,2019-06-21

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