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基于多模光纤阵列输入光场调制的超分辨直写式光刻系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110802368.X
申请日：
2021-07-15
公开(公告)号：
CN113568279A
公开(公告)日：
2021-10-29
发明(设计)人：
匡翠方 罗昊 李海峰 刘旭 温积森 孙秋媛
申请人：
申请人地址：
310023 浙江省杭州市余杭区文一西路1818号人工智能小镇10号楼
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人：
邱启旺
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-16 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210715
2021-10-29 公开 公开
共 50 条
[1]
基于多模光纤阵列输入光场调制的超分辨直写式光刻系统 [P]. 
匡翠方 ;
罗昊 ;
李海峰 ;
刘旭 ;
温积森 ;
孙秋媛 .
中国专利 :CN113568279B ,2024-01-02
[2]
一种基于光纤阵列的多通道并行式超分辨直写式光刻系统 [P]. 
匡翠方 ;
罗昊 ;
李海峰 ;
刘旭 ;
魏震 ;
温积森 ;
樊吴申 .
中国专利 :CN113189848A ,2021-07-30
[3]
一种基于光纤阵列的多通道并行式超分辨直写式光刻系统 [P]. 
匡翠方 ;
罗昊 ;
李海峰 ;
刘旭 ;
魏震 ;
温积森 ;
樊吴申 .
中国专利 :CN113189848B ,2024-02-13
[4]
基于光纤选模耦合器的多通道并行式超分辨直写光刻系统 [P]. 
匡翠方 ;
罗昊 ;
李海峰 ;
刘旭 ;
魏震 ;
汤孟博 .
中国专利 :CN113189847B ,2024-04-12
[5]
基于光纤选模耦合器的多通道并行式超分辨直写光刻系统 [P]. 
匡翠方 ;
罗昊 ;
李海峰 ;
刘旭 ;
魏震 ;
汤孟博 .
中国专利 :CN113189847A ,2021-07-30
[6]
基于光纤器件的光场生成装置及单波长超分辨光刻系统 [P]. 
罗昊 ;
匡翠方 ;
刘旭 ;
李海峰 ;
孙琦 ;
魏震 .
中国专利 :CN114721233A ,2022-07-08
[7]
一种用于光纤阵列的输入光信号发生装置及光刻系统 [P]. 
匡翠方 ;
罗昊 ;
李海峰 ;
刘旭 ;
魏震 ;
马程鹏 .
中国专利 :CN113189709A ,2021-07-30
[8]
基于波前整形的多模光纤超分辨成像装置及其光斑校正方法 [P]. 
马耀光 ;
文仲 ;
杨青 ;
刘旭 .
中国专利 :CN109683342A ,2019-04-26
[9]
基于矢量光场调控的超衍射极限激光直写装置和方法 [P]. 
罗梦迪 ;
匡翠方 ;
温积森 ;
朱大钊 ;
詹刚垚 .
中国专利 :CN117970752A ,2024-05-03
[10]
一种基于导模干涉的超分辨直写光刻机 [P]. 
王向贤 ;
张斗国 ;
陈漪恺 ;
傅强 ;
王沛 ;
明海 .
中国专利 :CN202230299U ,2012-05-23
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