基于光纤选模耦合器的多通道并行式超分辨直写光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110428488.8

申请日：

2021-04-21

公开(公告)号：

CN113189847B

公开(公告)日：

2024-04-12

发明(设计)人：

匡翠方罗昊李海峰刘旭魏震汤孟博

申请人：

之江实验室浙江大学

申请人地址：

310023 浙江省杭州市余杭区文一西路1818号人工智能小镇10号楼

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

邱启旺

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

基于光纤选模耦合器的多通道并行式超分辨直写光刻系统 [P].

匡翠方 ;

罗昊 ;

李海峰 ;

刘旭 ;

魏震 ;

汤孟博 .

中国专利 :CN113189847A ,2021-07-30

[2]

一种基于光纤阵列的多通道并行式超分辨直写式光刻系统 [P].

匡翠方 ;

罗昊 ;

李海峰 ;

刘旭 ;

魏震 ;

温积森 ;

樊吴申 .

中国专利 :CN113189848A ,2021-07-30

[3]

一种基于光纤阵列的多通道并行式超分辨直写式光刻系统 [P].

匡翠方 ;

罗昊 ;

李海峰 ;

刘旭 ;

魏震 ;

温积森 ;

樊吴申 .

中国专利 :CN113189848B ,2024-02-13

[4]

基于多模光纤阵列输入光场调制的超分辨直写式光刻系统 [P].

匡翠方 ;

罗昊 ;

李海峰 ;

刘旭 ;

温积森 ;

孙秋媛 .

中国专利 :CN113568279A ,2021-10-29

[5]

基于多模光纤阵列输入光场调制的超分辨直写式光刻系统 [P].

匡翠方 ;

罗昊 ;

李海峰 ;

刘旭 ;

温积森 ;

孙秋媛 .

中国专利 :CN113568279B ,2024-01-02

[6]

一种多通道并行超分辨激光直写系统 [P].

匡翠方 ;

孙秋媛 ;

徐良 ;

丁晨良 ;

朱大钊 ;

刘旭 ;

马程鹏 ;

杨臻垚 .

中国专利 :CN113985706A ,2022-01-28

[7]

多模多光纤功率耦合器 [P].

张亮 ;

王智勇 ;

左铁钏 .

中国专利 :CN200941122Y ,2007-08-29

[8]

多模光纤耦合器的制备工艺 [P].

黄勇 .

中国专利 :CN101276022A ,2008-10-01

[9]

多模光纤多接口耦合器 [P].

约翰·斯图尔特·利奇 ;

塔尔莱·艾萨克·阿拉斯 .

中国专利 :CN85104077A ,1986-11-26

[10]

基于光纤器件的光场生成装置及单波长超分辨光刻系统 [P].

罗昊 ;

匡翠方 ;

刘旭 ;

李海峰 ;

孙琦 ;

魏震 .

中国专利 :CN114721233A ,2022-07-08

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