基于多块主成分分析网络的晶圆图缺陷检测方法

被引：0

申请号：

CN202210424283.7

申请日：

2022-04-22

公开(公告)号：

CN115423737A

公开(公告)日：

2022-12-02

发明(设计)人：

邓晓刚周奉玄刘晓月肖林勃谭海燕雷其昌

申请人：

申请人地址：

266580 山东省青岛市黄岛区长江西路66号

IPC主分类号：

G06T700

IPC分类号：

G06V1077 G06V10762 G06K962

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

基于多块主成分分析网络的晶圆图缺陷检测方法 [P].

邓晓刚 ;

周奉玄 ;

刘晓月 ;

肖林勃 ;

谭海燕 ;

雷其昌 .

中国专利 :CN115423737B ,2025-07-15

[2]

基于多尺度主成分分析的网络异常检测方法 [P].

钱叶魁 ;

刘凤荣 ;

郝强 ;

左军 ;

尹锋 ;

商文忠 ;

姜关胜 .

中国专利 :CN102111312A ,2011-06-29

[3]

基于张量投票主成分分析的板材点云缺陷检测方法 [P].

都卫东 ;

和江镇 ;

王岩松 ;

戴超凡 ;

吴健雄 .

中国专利 :CN115656182A ,2023-01-31

[4]

基于张量投票主成分分析的板材点云缺陷检测方法 [P].

都卫东 ;

和江镇 ;

王岩松 ;

戴超凡 ;

吴健雄 .

中国专利 :CN115656182B ,2025-11-28

[5]

基于主成分分析与门控循环单元网络的缺陷深度检测方法 [P].

胡建中 ;

徐立 ;

许飞云 ;

贾民平 .

中国专利 :CN113111911B ,2024-02-06

[6]

基于主成分分析与门控循环单元网络的缺陷深度检测方法 [P].

胡建中 ;

徐立 ;

许飞云 ;

贾民平 .

中国专利 :CN113111911A ,2021-07-13

[7]

一种基于主成分分析的手机玻璃盖板缺陷检测方法 [P].

梁列全 ;

李迪 ;

周璇 ;

张舞杰 .

中国专利 :CN103942777A ,2014-07-23

[8]

基于主成分分析的视频图像背景检测方法 [P].

张小洪 ;

杨丹 ;

霍东海 ;

杨梦宁 ;

洪明坚 ;

徐玲 ;

葛永新 ;

陈远 ;

胡海波 .

中国专利 :CN102509076B ,2012-06-20

[9]

基于三维主成分分析网络的视频序列分类方法 [P].

韩冰 ;

严月 ;

贾中华 ;

高新波 ;

连慧芳 ;

褚福跃 ;

王平 .

中国专利 :CN107194375A ,2017-09-22

[10]

基于张量鲁棒主成分分析的评分分布异常检测方法 [P].

吕钊 ;

马靓 ;

贺樑 .

中国专利 :CN109117456A ,2019-01-01

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