氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210469711.4

申请日：

2012-11-19

公开(公告)号：

CN103122454B

公开(公告)日：

2013-05-29

发明(设计)人：

朴洙昊金序炫朴正佑朴兑正刘泳祚尹根尚崔殷豪金荣云金保京申亨秀尹承镐李相度李相益任相俊

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C07F1700

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

康泉;王珍仙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101480523179 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2012104697114 申请日:20121119
2013-05-29	公开	公开
2015-12-02	授权	授权
2015-02-04	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101710471553 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2012104697114 变更事项:申请人变更前:三星康宁精密素材株式会社变更后:康宁精密素材株式会社变更事项:地址变更前:韩国庆尚北道变更后:韩国忠清南道

共 50 条

[1]

含有卤化烷基锌的氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 [P].

朴洙昊 ;

金序炫 ;

朴正佑 ;

朴兑正 ;

刘泳祚 ;

尹根尚 ;

崔殷豪 ;

金荣云 ;

金保京 ;

申亨秀 ;

尹承镐 ;

李相度 ;

李相益 ;

任相俊 .

中国专利 :CN103122453B ,2013-05-29

[2]

氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 [P].

朴洙昊 ;

朴钟世 ;

刘泳祚 ;

李柱永 ;

金序炫 ;

尹根尚 ;

金荣云 ;

申亨秀 ;

尹承镐 ;

李相度 ;

李相益 ;

任相俊 .

中国专利 :CN103710680A ,2014-04-09

[3]

制备氧化锌薄膜的方法 [P].

尹根尚 ;

金序炫 ;

李铉熙 ;

刘泳祚 .

中国专利 :CN103849854A ,2014-06-11

[4]

一种氧化锌前驱体合成系统 [P].

齐磊 ;

王洋 ;

石磊 .

中国专利 :CN213032495U ,2021-04-23

[5]

一种氧化锌前驱体洗涤装置 [P].

石磊 ;

王洋 ;

王东 .

中国专利 :CN215236376U ,2021-12-21

[6]

氧化锌薄膜沉积设备 [P].

汪宇澄 ;

李一成 ;

许国青 .

中国专利 :CN202246849U ,2012-05-30

[7]

氧化锌薄膜沉积设备 [P].

李一成 ;

赵函一 ;

许国青 .

中国专利 :CN202359197U ,2012-08-01

[8]

氧化锌薄膜沉积设备 [P].

李一成 ;

陈亮 ;

汪宇澄 ;

许国青 .

中国专利 :CN202246855U ,2012-05-30

[9]

氧化锌烧结体、溅射靶材以及氧化锌薄膜 [P].

召田雅实 ;

仓持豪人 ;

饭草仁志 ;

尾身健治 ;

涩田见哲夫 .

中国专利 :CN103249693B ,2013-08-14

[10]

一种纳米氧化锌前驱体的制备方法 [P].

胡寒梅 ;

邓崇海 ;

黄显怀 .

中国专利 :CN101007648A ,2007-08-01

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