制备氧化锌薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310625110.2

申请日：

2013-11-28

公开(公告)号：

CN103849854A

公开(公告)日：

2014-06-11

发明(设计)人：

尹根尚金序炫李铉熙刘泳祚

申请人：

申请人地址：

韩国庆尚北道

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

康泉;王珍仙

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-11	公开	公开
2016-08-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101736554049 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2013106251102 申请公布日:20140611
2015-01-21	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101710115974 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2013106251102 变更事项:申请人变更前:三星康宁精密素材株式会社变更后:康宁精密素材株式会社变更事项:地址变更前:韩国庆尚北道变更后:韩国忠清南道
2014-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583602857 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2013106251102 申请日:20131128

共 50 条

[1]

用n型氧化锌制备p型氧化锌薄膜的方法 [P].

赵东旭 ;

曹萍 ;

吕有明 ;

申德振 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN101225549A ,2008-07-23

[2]

一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜 [P].

陈莉萍 ;

郭雪祥 ;

何绿 ;

黄仕华 ;

郭海 .

中国专利 :CN105112851A ,2015-12-02

[3]

氧化锌靶材的制备方法及氧化锌薄膜的制备方法 [P].

许积文 ;

唐浩 ;

宋永生 ;

李文杰 ;

莫方策 ;

韦崇敏 .

中国专利 :CN105565798A ,2016-05-11

[4]

制备不同微观形貌氧化锌薄膜的方法 [P].

靳正国 ;

余可 ;

刘晓新 .

中国专利 :CN1995481A ,2007-07-11

[5]

一种制备P型氧化锌薄膜的方法 [P].

季振国 ;

叶志镇 .

中国专利 :CN1167828C ,2004-09-22

[6]

氧化锌薄膜制备方法 [P].

何刚 ;

吴紫阳 ;

蔡金华 .

中国专利 :CN101125676A ,2008-02-20

[7]

氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 [P].

朴洙昊 ;

金序炫 ;

朴正佑 ;

朴兑正 ;

刘泳祚 ;

尹根尚 ;

崔殷豪 ;

金荣云 ;

金保京 ;

申亨秀 ;

尹承镐 ;

李相度 ;

李相益 ;

任相俊 .

中国专利 :CN103122454B ,2013-05-29

[8]

图案化氧化锌薄膜的制备方法 [P].

杜祖亮 ;

王洋 ;

戴树玺 ;

程轲 .

中国专利 :CN102219557B ,2011-10-19

[9]

掺硼氧化锌薄膜的制备方法 [P].

徐东 ;

徐永清 ;

郭友沛 .

中国专利 :CN103343335A ,2013-10-09

[10]

电场诱导光抽运硅基氧化锌薄膜随机激光器及其制备方法 [P].

陈培良 ;

马向阳 ;

李东升 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN101299513A ,2008-11-05

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