一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510579062.7

申请日：

2015-09-11

公开(公告)号：

CN105112851A

公开(公告)日：

2015-12-02

发明(设计)人：

陈莉萍郭雪祥何绿黄仕华郭海

申请人：

申请人地址：

321004 浙江省金华市婺城区迎宾大道688号浙江师范大学数理信息学院

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1428

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

乐珠秀

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	公开	公开
2018-11-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/08 申请公布日:20151202
2015-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640149289 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2015105790627 申请日:20150911

共 50 条

[1]

制备氧化锌薄膜的方法 [P].

尹根尚 ;

金序炫 ;

李铉熙 ;

刘泳祚 .

中国专利 :CN103849854A ,2014-06-11

[2]

氧化锌靶材的制备方法及氧化锌薄膜的制备方法 [P].

许积文 ;

唐浩 ;

宋永生 ;

李文杰 ;

莫方策 ;

韦崇敏 .

中国专利 :CN105565798A ,2016-05-11

[3]

氧化锌薄膜制备方法 [P].

何刚 ;

吴紫阳 ;

蔡金华 .

中国专利 :CN101125676A ,2008-02-20

[4]

用n型氧化锌制备p型氧化锌薄膜的方法 [P].

赵东旭 ;

曹萍 ;

吕有明 ;

申德振 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN101225549A ,2008-07-23

[5]

氧化锌薄膜形成用组合物和氧化锌薄膜的制造方法 [P].

竹元裕仁 ;

二子石师 ;

青木雅裕 .

中国专利 :CN111758053B ,2020-10-09

[6]

氧化锌薄膜沉积设备 [P].

汪宇澄 ;

李一成 ;

许国青 .

中国专利 :CN202246849U ,2012-05-30

[7]

氧化锌薄膜沉积设备 [P].

李一成 ;

赵函一 ;

许国青 .

中国专利 :CN202359197U ,2012-08-01

[8]

氧化锌薄膜沉积设备 [P].

李一成 ;

陈亮 ;

汪宇澄 ;

许国青 .

中国专利 :CN202246855U ,2012-05-30

[9]

一种氧化锌薄膜的制备方法 [P].

王秀峰 ;

方俊 .

中国专利 :CN100427403C ,2006-10-11

[10]

氧化锌烧结体、溅射靶材以及氧化锌薄膜 [P].

召田雅实 ;

仓持豪人 ;

饭草仁志 ;

尾身健治 ;

涩田见哲夫 .

中国专利 :CN103249693B ,2013-08-14

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