一种蒸镀源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320367636.0

申请日：

2013-06-25

公开(公告)号：

CN203284453U

公开(公告)日：

2013-11-13

发明(设计)人：

唐元刚

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区(西区)科新西街168号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

代理机构：

成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227

代理人：

周永宏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-13	授权	授权
2022-06-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20130625 授权公告日:20131113 终止日期:20210625

共 50 条

[1]

一种蒸镀源及蒸镀装置 [P].

张朝波 ;

刘亮亮 ;

唐亮 ;

田宏伟 ;

康峰 ;

白妮妮 ;

韩帅 ;

绰洛鹏 ;

贾敏慧 ;

闵天圭 .

中国专利 :CN205662589U ,2016-10-26

[2]

一种蒸镀源 [P].

郑沂 ;

林志斌 .

中国专利 :CN212864943U ,2021-04-02

[3]

一种蒸镀源 [P].

唐元刚 ;

林成勇 .

中国专利 :CN204080097U ,2015-01-07

[4]

一种蒸镀源盖板、蒸镀源及蒸镀装置 [P].

胡长奇 ;

郭书鹏 .

中国专利 :CN206512268U ,2017-09-22

[5]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

马昆松 ;

梁作 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20

[6]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

沈文涛 ;

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

张明照 .

中国专利 :CN209722279U ,2019-12-03

[7]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

邓博为 .

中国专利 :CN220468111U ,2024-02-09

[8]

一种真空蒸镀源 [P].

景东 .

中国专利 :CN208917283U ,2019-05-31

[9]

蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴 [P].

塩野忠久 ;

长田佑介 ;

金子滉明 ;

若林雅 ;

铃木裕二 .

中国专利 :CN113373411A ,2021-09-10

[10]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源以及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN108866485B ,2018-11-23

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