一种蒸镀源及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620444993.6

申请日：

2016-05-16

公开(公告)号：

CN205662589U

公开(公告)日：

2016-10-26

发明(设计)人：

张朝波刘亮亮唐亮田宏伟康峰白妮妮韩帅绰洛鹏贾敏慧闵天圭

申请人：

申请人地址：

017000 内蒙古自治区鄂尔多斯市东胜区装备制造基地

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种蒸镀源盖板、蒸镀源及蒸镀装置 [P].

胡长奇 ;

郭书鹏 .

中国专利 :CN206512268U ,2017-09-22

[2]

一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 .

中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25

[3]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

罗程远 .

中国专利 :CN106947944A ,2017-07-14

[4]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

万想 ;

王欣欣 ;

上官荣刚 ;

彭锐 .

中国专利 :CN107012431B ,2017-08-04

[5]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN106987807B ,2017-07-28

[6]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

上官荣刚 ;

王欣欣 .

中国专利 :CN106835028B ,2017-06-13

[7]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

马昆松 ;

梁作 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20

[8]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

沈文涛 ;

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

张明照 .

中国专利 :CN209722279U ,2019-12-03

[9]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

邓博为 .

中国专利 :CN220468111U ,2024-02-09

[10]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

王宇钊 ;

李彦松 ;

文官印 ;

刘华猛 .

中国专利 :CN118773551A ,2024-10-15

← 1 2 3 4 5 →