多晶硅碱性制绒方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310086008.X
申请日
2013-03-18
公开(公告)号
CN103151425B
公开(公告)日
2013-06-12
发明(设计)人
李云 谢俊叶 马承鸿 倪明镜 李健
申请人
申请人地址
010111 内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
C30B3310
代理机构
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人
刘春生;于宝庆
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅碱性制绒方法 [P]. 
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一种减少多晶硅制绒暗纹的制绒方法 [P]. 
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蔡晓晨 ;
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[3]
一种多晶硅表面制绒方法 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[9]
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[10]
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