一种多晶硅表面制绒方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010144113.0
申请日
2010-04-02
公开(公告)号
CN101805929B
公开(公告)日
2010-08-18
发明(设计)人
万青 郑策 方旭昶
申请人
申请人地址
325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海五路369号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
C30B3310 C23F114 C23F102
代理机构
温州瓯越专利代理有限公司 33211
代理人
李友福
法律状态
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
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