一种制备多晶硅绒面的方法

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专利类型
发明
申请号
CN200410064831.1
申请日
2004-09-30
公开(公告)号
CN100344001C
公开(公告)日
2005-05-11
发明(设计)人
季静佳 施正荣
申请人
申请人地址
214028江苏省无锡市新区长江南路75号地块旺庄工业园一区A-06号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L21306 C23F124
代理机构
北京金信立方知识产权代理有限公司
代理人
朱梅;徐志明
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种制备多晶硅绒面的方法 [P]. 
金浩 ;
张艳芳 .
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[2]
一种多晶硅绒面的制备方法 [P]. 
金浩 ;
张艳芳 ;
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[3]
一种均一型多晶硅绒面的制备方法 [P]. 
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[5]
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[6]
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[7]
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[9]
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[10]
一种多晶硅表面制绒方法 [P]. 
万青 ;
郑策 ;
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