共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆对准系统和晶圆对准方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410148217.7
申请日：
2014-04-14
公开(公告)号：
CN104979258B
公开(公告)日：
2015-10-14
发明(设计)人：
陈星
王勇
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
G06T700
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
郑立柱;邵桂礼
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-11-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633318588 IPC(主分类):H01L 21/68 专利申请号:2014101482177 申请日:20140414 |
| 2019-02-19 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 登记号:2019310000002 登记生效日:20190121 出质人:睿励科学仪器（上海）有限公司 质权人:上海兴橙投资管理有限公司 发明名称:一种晶圆对准系统和晶圆对准方法 申请日:20140414 授权公告日:20180112 |
| 2015-10-14 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-23 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/68 授权公告日:20180112 申请日:20140414 登记号:2019310000002 出质人:睿励科学仪器（上海）有限公司 质权人:上海兴橙投资管理有限公司 解除日:20190701 |
| 2019-08-02 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 登记号:2019310000040 登记生效日:20190710 出质人:睿励科学仪器（上海）有限公司 质权人:上海浦东新兴产业投资有限公司 发明名称:一种晶圆对准系统和晶圆对准方法 申请日:20140414 授权公告日:20180112 |
| 2018-01-12 | 授权 | 授权 |