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一种载台旋转调整机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821885345.X
申请日：
2018-11-16
公开(公告)号：
CN209446629U
公开(公告)日：
2019-09-27
发明(设计)人：
刘振辉
叶伟杰
申请人：
申请人地址：
518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区
IPC主分类号：
G01R104
IPC分类号：
G01D1100
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-27 | 授权 | 授权 |
| 2020-04-03 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R 1/04 变更事项:专利权人 变更前:深圳市矽电半导体设备有限公司 变更后:矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 变更后:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 |