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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-27 | 授权 | 授权 |
| 2020-04-03 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R 1/04 变更事项:专利权人 变更前:深圳市矽电半导体设备有限公司 变更后:矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 变更后:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 |