一种基于三多晶SiGe HBT的应变BiCMOS集成器件及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210243689.1

申请日：

2012-07-16

公开(公告)号：

CN102751281A

公开(公告)日：

2012-10-24

发明(设计)人：

宋建军胡辉勇李妤晨宣荣喜张鹤鸣舒斌戴显英郝跃

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

H01L2706

IPC分类号：

H01L218249

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-24	公开	公开
2016-03-30	授权	授权
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101471122142 IPC(主分类):H01L 27/06 专利申请号:2012102436891 申请日:20120716
2022-06-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/06 申请日:20120716 授权公告日:20160330 终止日期:20210716

共 50 条

[1]

一种三多晶应变SiGe BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

宣荣喜 ;

周春宇 ;

舒斌 ;

吕懿 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102820306B ,2012-12-12

[2]

一种基于三多晶SiGe HBT的混合晶面应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

李妤晨 ;

胡辉勇 ;

宋建军 ;

王海栋 ;

宣荣喜 ;

舒斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102751292A ,2012-10-24

[3]

一种应变SiGe HBT垂直沟道BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

宋建军 ;

胡辉勇 ;

舒斌 ;

王海栋 ;

张鹤鸣 ;

宣荣喜 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102800672A ,2012-11-28

[4]

一种基于SiGe HBT的三应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宋建军 ;

宣荣喜 ;

周春宇 ;

张鹤鸣 ;

李妤晨 ;

舒斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102790052A ,2012-11-21

[5]

一种三应变三多晶平面BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宋建军 ;

宣荣喜 ;

舒斌 ;

张鹤鸣 ;

李妤晨 ;

吕懿 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102867824B ,2013-01-09

[6]

一种基于平面应变SiGe HBT器件的BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

王海栋 ;

舒斌 ;

宣荣喜 ;

戴显英 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738149A ,2012-10-17

[7]

一种三多晶混合晶面应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

李妤晨 ;

胡辉勇 ;

周春宇 ;

宣荣喜 ;

戴显英 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102751290B ,2012-10-24

[8]

一种应变Si/应变SiGe-HBT BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宣荣喜 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

王海栋 ;

舒斌 ;

李妤晨 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738157B ,2012-10-17

[9]

一种应变SiGe垂直回型沟道BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

宋建军 ;

胡辉勇 ;

舒斌 ;

张鹤鸣 ;

宣荣喜 ;

李妤晨 ;

王斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102820297A ,2012-12-12

[10]

一种双多晶应变SiGe平面BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

宣荣喜 ;

舒斌 ;

周春宇 ;

王斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738159A ,2012-10-17

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