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硬掩膜组成物和使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510379390.2
申请日：
2015-07-01
公开(公告)号：
CN105280481B
公开(公告)日：
2016-01-27
发明(设计)人：
南沇希 金惠廷 宋炫知
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号
IPC主分类号：
H01L21033
IPC分类号：
H01L21027
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
陶敏;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2016-01-27 公开 公开
2016-02-24 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101647682951 IPC(主分类):H01L 21/033 专利申请号:2015103793902 申请日:20150701
2018-03-27 授权 授权
共 50 条
[1]
单体、包含所述单体的硬掩膜组成物、以及使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法 [P]. 
朴惟廷 ;
金惠廷 ;
朴曜徹 ;
尹龙云 ;
李圣宰 ;
李哲虎 ;
赵娟振 .
中国专利 :CN104768912A ,2015-07-08
[2]
硬掩膜组成物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P]. 
金昇炫 ;
朴裕信 ;
朴亨锡 ;
金瑆焕 ;
郑铉日 .
中国专利 :CN111383912A ,2020-07-07
[3]
硬掩膜组合物和使用硬掩膜组合物形成图案的方法 [P]. 
南沇希 ;
金惠廷 ;
金相均 ;
金瑆焕 ;
金润俊 ;
文俊怜 ;
宋炫知 .
中国专利 :CN104749880B ,2015-07-01
[4]
硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P]. 
王静 ;
肖楠 ;
宋里千 .
中国专利 :CN111290216B ,2020-06-16
[5]
硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P]. 
王静 ;
肖楠 ;
宋里千 .
中国专利 :CN111240153B ,2020-06-05
[6]
硬掩模组成物和使用所述硬掩模组成物形成图案的方法 [P]. 
南沇希 ;
金美英 ;
朴惟廷 ;
金润俊 ;
金惠廷 ;
文俊怜 ;
宋炫知 ;
李忠宪 ;
崔有廷 .
中国专利 :CN105093834A ,2015-11-25
[7]
用于硬掩膜组合物的单体、含有所述单体的硬掩膜组合物及使用所述硬掩膜组合物的图案形成方法 [P]. 
辛乘旭 ;
金润俊 ;
金惠廷 ;
赵娟振 ;
崔有廷 .
中国专利 :CN104823106A ,2015-08-05
[8]
硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P]. 
林栽范 .
中国专利 :CN114424122A ,2022-04-29
[9]
硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P]. 
林栽范 .
韩国专利 :CN114424122B ,2025-12-12
[10]
单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述硬遮罩组成物形成图案的方法 [P]. 
尹龙云 ;
李圣宰 ;
文俊怜 ;
朴惟廷 ;
李哲虎 ;
赵娟振 .
中国专利 :CN105026389A ,2015-11-04
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