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用于硬掩膜组合物的单体、含有所述单体的硬掩膜组合物及使用所述硬掩膜组合物的图案形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201380059123.6
申请日：
2013-10-02
公开(公告)号：
CN104823106A
公开(公告)日：
2015-08-05
发明(设计)人：
辛乘旭 金润俊 金惠廷 赵娟振 崔有廷
申请人：
申请人地址：
韩国庆尙北道龟尾市龟尾大路58番地730-710
IPC主分类号：
G03F100
IPC分类号：
C07C6315 G03F726 C07C1540
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马爽;臧建明
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-12-22 授权 授权
2015-08-05 公开 公开
2015-09-02 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101623402169 IPC(主分类):G03F 1/00 专利申请号:2013800591236 申请日:20131002
共 50 条
[1]
单体、包含所述单体的硬掩膜组成物、以及使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法 [P]. 
朴惟廷 ;
金惠廷 ;
朴曜徹 ;
尹龙云 ;
李圣宰 ;
李哲虎 ;
赵娟振 .
中国专利 :CN104768912A ,2015-07-08
[2]
硬掩膜组合物和使用硬掩膜组合物形成图案的方法 [P]. 
南沇希 ;
金惠廷 ;
金相均 ;
金瑆焕 ;
金润俊 ;
文俊怜 ;
宋炫知 .
中国专利 :CN104749880B ,2015-07-01
[3]
硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P]. 
王静 ;
肖楠 ;
宋里千 .
中国专利 :CN111290216B ,2020-06-16
[4]
硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P]. 
王静 ;
肖楠 ;
宋里千 .
中国专利 :CN111240153B ,2020-06-05
[5]
用于硬掩膜组合物的单体和包括该单体的硬掩膜组合物以及使用其形成图案的方法 [P]. 
宋炫知 ;
金润俊 ;
金古恩 ;
金永珉 ;
金惠廷 ;
文俊怜 ;
朴曜徹 ;
朴裕信 ;
朴惟廷 ;
辛乘旭 ;
尹龙云 ;
李忠宪 ;
崔有廷 ;
洪承希 .
中国专利 :CN104250228B ,2014-12-31
[6]
硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P]. 
林栽范 .
中国专利 :CN114424122A ,2022-04-29
[7]
硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P]. 
林栽范 .
韩国专利 :CN114424122B ,2025-12-12
[8]
硬掩膜组成物和使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法 [P]. 
南沇希 ;
金惠廷 ;
宋炫知 .
中国专利 :CN105280481B ,2016-01-27
[9]
抗反射硬掩膜组合物 [P]. 
崔相俊 .
中国专利 :CN110361931B ,2019-10-22
[10]
硬掩膜组成物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P]. 
金昇炫 ;
朴裕信 ;
朴亨锡 ;
金瑆焕 ;
郑铉日 .
中国专利 :CN111383912A ,2020-07-07
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