研磨液、化学机械研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780034712.7

申请日：

2017-05-15

公开(公告)号：

CN109312213A

公开(公告)日：

2019-02-05

发明(设计)人：

上村哲也

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

B24B3700 C09G102 H01L21304

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

曹阳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 3/14 申请日:20170515
2019-02-05	公开	公开
2021-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨液、化学机械研磨方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN109312211A ,2019-02-05

[2]

研磨液、研磨液的制造方法、研磨液原液、研磨液原液收容体、化学机械研磨方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN110325614B ,2019-10-11

[3]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[4]

研磨液及化学机械研磨方法 [P].

李健 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN101457136A ,2009-06-17

[5]

化学机械研磨系统及研磨液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 .

中国专利 :CN101103444A ,2008-01-09

[6]

化学机械研磨混合液及研磨方法 [P].

席涛 .

中国专利 :CN110948377A ,2020-04-03

[7]

研磨液分配臂及其化学机械研磨方法 [P].

蒋德念 ;

张弢 ;

邢杰 .

中国专利 :CN108145610A ,2018-06-12

[8]

化学机械研磨方法与研磨液组合物 [P].

杨春晓 ;

俞昌 .

中国专利 :CN101065457B ,2007-10-31

[9]

化学机械研磨混合液及研磨方法 [P].

席涛 .

中国专利 :CN110948377B ,2024-06-21

[10]

研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

山本胜利 .

中国专利 :CN113001395A ,2021-06-22

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