研磨液分配臂及其化学机械研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711462027.2

申请日：

2017-12-28

公开(公告)号：

CN108145610A

公开(公告)日：

2018-06-12

发明(设计)人：

蒋德念张弢邢杰

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

B24B100 B08B302

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 57/02 申请公布日:20180612
2018-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20171228
2018-06-12	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨液、化学机械研磨方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN109312213A ,2019-02-05

[2]

研磨液、化学机械研磨方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN109312211A ,2019-02-05

[3]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[4]

研磨液及化学机械研磨方法 [P].

李健 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN101457136A ,2009-06-17

[5]

研磨液分配装置及化学机械研磨装置 [P].

鲜怡 .

中国专利 :CN120395683A ,2025-08-01

[6]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

[7]

化学机械研磨装置和化学机械研磨方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN104742007B ,2015-07-01

[8]

化学机械研磨设备及其研磨单元 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102528637A ,2012-07-04

[9]

化学机械研磨设备及其研磨单元 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102528643A ,2012-07-04

[10]

化学机械研磨装置及其研磨方法 [P].

桂辉辉 ;

周小红 ;

万先进 .

中国专利 :CN106514438A ,2017-03-22

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