研磨液分配装置及化学机械研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410101553.X

申请日：

2024-01-24

公开(公告)号：

CN120395683A

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

鲜怡

申请人：

上海光通信有限公司

申请人地址：

201815 上海市嘉定区兴贤路1180号3号楼

IPC主分类号：

B24B37/20

IPC分类号：

B24B37/27 B24B37/34 B24B57/02

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

赵素香

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/20申请日:20240124
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

陆从喜 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30

[2]

研磨液输送装置及化学机械研磨设备 [P].

郝伟然 ;

田小勇 .

中国专利 :CN120116149A ,2025-06-10

[3]

研磨液供给手臂及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125576U ,2019-07-19

[4]

研磨液输送模块及化学机械研磨装置 [P].

申埈燮 .

中国专利 :CN112677032A ,2021-04-20

[5]

研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

山本胜利 .

中国专利 :CN113001395A ,2021-06-22

[6]

研磨液分配臂及其化学机械研磨方法 [P].

蒋德念 ;

张弢 ;

邢杰 .

中国专利 :CN108145610A ,2018-06-12

[7]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

邬良 .

中国专利 :CN112959223A ,2021-06-15

[8]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

张芳余 .

中国专利 :CN104742008B ,2015-07-01

[9]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN114762952A ,2022-07-19

[10]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

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