研磨液输送装置及化学机械研磨设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510579705.1

申请日：

2025-05-06

公开(公告)号：

CN120116149A

公开(公告)日：

2025-06-10

发明(设计)人：

郝伟然田小勇

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

B24B57/02

IPC分类号：

B24B37/00

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 57/02申请日:20250506
2025-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨液输送模块及化学机械研磨装置 [P].

申埈燮 .

中国专利 :CN112677032A ,2021-04-20

[2]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[3]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

王跃林 ;

许力介 ;

韩志祥 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN223383257U ,2025-09-26

[4]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

廖帆伟 ;

沈毛振 ;

王润泽 .

中国专利 :CN223589099U ,2025-11-25

[5]

研磨液输送单元及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209021758U ,2019-06-25

[6]

化学机械研磨设备及化学机械研磨方法 [P].

李福洪 .

中国专利 :CN101362313B ,2009-02-11

[7]

研磨液供给手臂及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125576U ,2019-07-19

[8]

研磨控制装置及化学机械研磨设备 [P].

王跃林 ;

许力介 ;

韩志祥 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN223431429U ,2025-10-14

[9]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

邬良 .

中国专利 :CN112959223A ,2021-06-15

[10]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

张芳余 .

中国专利 :CN104742008B ,2015-07-01

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