研磨控制装置及化学机械研磨设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422866777.8

申请日：

2024-11-22

公开(公告)号：

CN223431429U

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

王跃林许力介韩志祥赵振伟

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

B24B37/00

IPC分类号：

B24B37/005 B24B37/34

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

吴浩

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械研磨控制方法及装置、化学机械研磨方法及设备 [P].

董呈龙 ;

龚大伟 ;

王一清 .

中国专利 :CN102601718B ,2012-07-25

[2]

研磨头及化学机械研磨设备 [P].

王庆玲 ;

邵群 .

中国专利 :CN202200170U ,2012-04-25

[3]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

王跃林 ;

许力介 ;

韩志祥 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN223383257U ,2025-09-26

[4]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

廖帆伟 ;

沈毛振 ;

王润泽 .

中国专利 :CN223589099U ,2025-11-25

[5]

化学机械研磨装置 [P].

陈承先 ;

黄雅仪 ;

高铭祥 ;

林义雄 ;

郭祖宽 .

中国专利 :CN2763968Y ,2006-03-08

[6]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

沈新林 ;

王海宽 ;

郭松辉 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208663469U ,2019-03-29

[7]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

岳志刚 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

辛君 .

中国专利 :CN207326710U ,2018-05-08

[8]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

[9]

化学机械研磨设备 [P].

洪波 .

中国专利 :CN210209950U ,2020-03-31

[10]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

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