研磨头及化学机械研磨设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120235413.X

申请日：

2011-07-05

公开(公告)号：

CN202200170U

公开(公告)日：

2012-04-25

发明(设计)人：

王庆玲邵群

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-25	授权	授权
2019-06-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/34 申请日:20110705 授权公告日:20120425 终止日期:20180705
2013-05-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101588607218 IPC(主分类):B24B 37/34 专利号:ZL201120235413X 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130419

共 50 条

[1]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

沈新林 ;

王海宽 ;

郭松辉 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208663469U ,2019-03-29

[2]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

岳志刚 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

辛君 .

中国专利 :CN207326710U ,2018-05-08

[3]

研磨头及化学机械研磨设备 [P].

王宇 ;

石慧明 ;

李国强 .

中国专利 :CN119328670A ,2025-01-21

[4]

研磨头结构及化学机械研磨装置 [P].

冯庆安 ;

张连伯 ;

马冬 ;

邱云光 .

中国专利 :CN206200737U ,2017-05-31

[5]

研磨头和化学机械研磨设备 [P].

陈智 .

中国专利 :CN110802507A ,2020-02-18

[6]

化学机械研磨设备的研磨头 [P].

黄坤 .

中国专利 :CN221248350U ,2024-07-02

[7]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

吴立君 .

中国专利 :CN110253426A ,2019-09-20

[8]

研磨头组件和化学机械研磨设备 [P].

陆从喜 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208841173U ,2019-05-10

[9]

研磨控制装置及化学机械研磨设备 [P].

王跃林 ;

许力介 ;

韩志祥 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN223431429U ,2025-10-14

[10]

研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

山本胜利 .

中国专利 :CN113001395A ,2021-06-22

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