研磨液输送单元及化学机械研磨系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821458020.3

申请日：

2018-09-06

公开(公告)号：

CN209021758U

公开(公告)日：

2019-06-25

发明(设计)人：

郭松辉沈新林吴龙江林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B24B104

IPC分类号：

B24B3734 B24B5702

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-25	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

陆从喜 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30

[2]

研磨液输送模块及化学机械研磨装置 [P].

申埈燮 .

中国专利 :CN112677032A ,2021-04-20

[3]

化学机械研磨系统及研磨液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 .

中国专利 :CN101103444A ,2008-01-09

[4]

研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208913880U ,2019-05-31

[5]

研磨液输送装置及化学机械研磨设备 [P].

郝伟然 ;

田小勇 .

中国专利 :CN120116149A ,2025-06-10

[6]

研磨液及化学机械研磨方法 [P].

李健 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN101457136A ,2009-06-17

[7]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[8]

研磨液供给手臂及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125576U ,2019-07-19

[9]

化学机械研磨系统及化学机械研磨方法 [P].

余振华 ;

黄见翎 .

中国专利 :CN101112751A ,2008-01-30

[10]

研磨液、化学机械研磨方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN109312213A ,2019-02-05

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