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研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821700687.X
申请日：
2018-10-19
公开(公告)号：
CN208913880U
公开(公告)日：
2019-05-31
发明(设计)人：
田得暄 辛君 吴龙江 林宗贤
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
B24B5702
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
王宏婧
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-05-31 授权 授权
共 50 条
[1]
研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P]. 
郭松辉 ;
陆从喜 ;
沈新林 ;
吴龙江 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30
[2]
化学机械研磨系统及研磨液 [P]. 
杨春晓 ;
俞昌 .
中国专利 :CN101103444A ,2008-01-09
[3]
研磨液输送单元及化学机械研磨系统 [P]. 
郭松辉 ;
沈新林 ;
吴龙江 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN209021758U ,2019-06-25
[4]
研磨液供应系统 [P]. 
许文泉 .
中国专利 :CN102806526A ,2012-12-05
[5]
研磨液供应系统及研磨设备 [P]. 
廖帆伟 ;
徐伟伦 .
中国专利 :CN223492977U ,2025-10-31
[6]
一种化学机械研磨中的研磨液供应系统 [P]. 
陈威 ;
王怀锋 ;
詹明松 ;
曹开玮 .
中国专利 :CN102233546A ,2011-11-09
[7]
研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法 [P]. 
沙酉鹤 .
中国专利 :CN112405355B ,2021-02-26
[8]
化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P]. 
弓艳霞 ;
王永华 .
中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09
[9]
研磨液手臂以及化学机械研磨设备 [P]. 
高思玮 .
中国专利 :CN201841472U ,2011-05-25
[10]
研磨液及化学机械研磨方法 [P]. 
李健 ;
刘俊良 .
中国专利 :CN101457136A ,2009-06-17
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