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研磨液供应系统及研磨设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202423027199.5
申请日：
2024-12-09
公开(公告)号：
CN223492977U
公开(公告)日：
2025-10-31
发明(设计)人：
廖帆伟
徐伟伦
申请人：
合肥晶合集成电路股份有限公司
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号：
B24B57/02
IPC分类号：
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
成亚婷
法律状态：
授权
国省代码：
天津市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-31 | 授权 | 授权 |