简易式研磨液供应系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920072553.2

申请日：

2009-05-19

公开(公告)号：

CN201455812U

公开(公告)日：

2010-05-12

发明(设计)人：

王怀锋詹明松余文军曹开玮

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

B24B2902 H01L21304

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20090519 授权公告日:20100512 终止日期:20180519
2013-03-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101538394573 IPC(主分类):B24B 57/02 专利号:ZL2009200725532 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130219
2010-05-12	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨液供应系统 [P].

许文泉 .

中国专利 :CN102806526A ,2012-12-05

[2]

研磨液混合与供应系统 [P].

郑火龙 .

中国专利 :CN217530497U ,2022-10-04

[3]

研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208913880U ,2019-05-31

[4]

研磨液供应系统和研磨装置 [P].

王建雄 ;

唐强 .

中国专利 :CN203993559U ,2014-12-10

[5]

一种新型研磨液供应系统 [P].

张久华 .

中国专利 :CN212918939U ,2021-04-09

[6]

研磨液供应系统及研磨设备 [P].

廖帆伟 ;

徐伟伦 .

中国专利 :CN223492977U ,2025-10-31

[7]

一种研磨液供应装置及研磨系统 [P].

戴翔 ;

陈鸿泽 .

中国专利 :CN220498818U ,2024-02-20

[8]

多孔环绕型研磨液供应系统和研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202702035U ,2013-01-30

[9]

一种减少研磨液粒子聚集的控制装置及研磨液供应系统 [P].

戴翔 ;

陈鸿泽 ;

雷炀烊 ;

杨忠宇 .

中国专利 :CN222472065U ,2025-02-14

[10]

一种研磨液中央供应系统 [P].

李春 ;

黄荣燕 .

中国专利 :CN207223702U ,2018-04-13

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